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Early Growth Stages of Aluminum Oxide (Al2O3) Insulating Layers by Thermal- and Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition on AlGaN/GaN Heterostructures

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作者
Emanuela Schilirò,Patrick Fiorenza,Giuseppe Greco,Francesca Monforte,Guglielmo G. Condorelli,Fabrizio Roccaforte,Filippo Giannazzo,R. Lo Nigro
出处
期刊：ACS applied electronic materials [American Chemical Society]
日期：2021-12-29 卷期号：4 (1): 406-415 被引量：2
标识
DOI：10.1021/acsaelm.1c01059
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