Boron Spin-On Doping for Poly-Si/SiOx Passivating Contacts

材料科学 兴奋剂 退火(玻璃) 制作 多晶硅 光电子学 电阻率和电导率 形成气体 微晶 钝化 纳米技术 复合材料 冶金 图层(电子) 电气工程 化学 病理 有机化学 工程类 替代医学 薄膜晶体管 医学
作者
Zetao Ding,Thien N. Truong,Hieu T. Nguyen,Di Yan,Xinyu Zhang,Jie Yang,Zhao Wang,Peiting Zheng,Yimao Wan,Daniel Macdonald,Josua Stückelberger
出处
期刊:ACS applied energy materials [American Chemical Society]
卷期号:4 (5): 4993-4999 被引量:9
标识
DOI:10.1021/acsaem.1c00550
摘要

Herein, we fabricate and characterize p-type passivating contacts based on industrial intrinsic polycrystalline silicon (poly-Si)/thermal-SiOx/n-type crystalline Si (c-Si) substrates using a spin-on doping technique. The impacts of drive-in temperature, drive-in dwell time, and intrinsic poly-Si thickness on the boron-doped poly-Si passivating contacts are investigated. First, the contact passivation quality improves with an increasing thermal budget (<950 °C) but then decreases again for excessive thermal annealing (>950 °C). Second, the thickness of the intrinsic poly-Si film shows only a little impact on the performance. After a hydrogenation treatment by depositing an AlOx/SiNx stack and subsequent annealing in forming gas, the optimized poly-Si passivating contacts show an implied open-circuit voltage (iVoc) > 720 mV, together with a contact resistivity (ρc) below 5 mΩ cm2. These results demonstrate that boron spin-on doping is a promising alternative to the conventional BBr3 thermal diffusion for the fabrication of p-type poly-Si passivating contacts.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
大幅提高文件上传限制,最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
leslie发布了新的文献求助10
1秒前
披星戴月完成签到,获得积分10
2秒前
2秒前
2秒前
过时的沧海关注了科研通微信公众号
3秒前
勤劳代亦发布了新的文献求助10
3秒前
3秒前
小黄发布了新的文献求助10
3秒前
3秒前
1464565388完成签到,获得积分10
5秒前
葛葛完成签到 ,获得积分10
5秒前
淡然红牛应助杨哈哈采纳,获得20
5秒前
wyjistest完成签到,获得积分10
5秒前
6秒前
十公里发布了新的文献求助10
6秒前
飞凡完成签到,获得积分10
6秒前
T77发布了新的文献求助10
6秒前
7秒前
7秒前
starofjlu应助洛洛采纳,获得20
7秒前
8秒前
ddz发布了新的文献求助10
8秒前
小鱼完成签到 ,获得积分10
8秒前
内向的麦片完成签到,获得积分10
8秒前
华仔应助wyjistest采纳,获得10
9秒前
10秒前
科研通AI2S应助小黄采纳,获得10
10秒前
10秒前
都大锤发布了新的文献求助10
11秒前
11秒前
12秒前
哈里发发布了新的文献求助10
12秒前
MMMM给MMMM的求助进行了留言
13秒前
14秒前
15秒前
16秒前
16秒前
shusz发布了新的文献求助10
16秒前
松本润不足完成签到,获得积分10
17秒前
T77完成签到,获得积分10
17秒前
高分求助中
Evolution 10000
Sustainability in Tides Chemistry 2800
The Young builders of New china : the visit of the delegation of the WFDY to the Chinese People's Republic 1000
юрские динозавры восточного забайкалья 800
Diagnostic immunohistochemistry : theranostic and genomic applications 6th Edition 500
Chen Hansheng: China’s Last Romantic Revolutionary 500
China's Relations With Japan 1945-83: The Role of Liao Chengzhi 400
热门求助领域 (近24小时)
化学 医学 生物 材料科学 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 基因 遗传学 催化作用 物理化学 免疫学 量子力学 细胞生物学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3149112
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 2800154
关于积分的说明 7838819
捐赠科研通 2457690
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1307972
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 628363
版权声明 601706