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Intermediate gas phase precursors during plasma CVD of HMDSO

等离子体增强化学气相沉积硅醇等离子体化学分子同质性（统计学）化学气相沉积分析化学（期刊）化学工程有机化学催化作用数学量子力学统计物理工程类

作者

D. Theirich,Ch. Soll,F. Leu,J. Engemann

出处

期刊：Vacuum [Elsevier BV]
日期：2003-04-24 卷期号：71 (3): 349-359 被引量：53

标识

DOI：10.1016/s0042-207x(02)00763-7

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