Effect of pulsed bias voltage on the structure and mechanical properties of Ti–C–N composite films by pulsed bias arc ion plating

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作者
Lin Zhang,Guojia Ma,He Ma,Guoqiang Lin
出处
期刊:Nuclear Instruments & Methods in Physics Research Section B-beam Interactions With Materials and Atoms [Elsevier BV]
卷期号:333: 1-5 被引量:9
标识
DOI:10.1016/j.nimb.2014.04.010
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