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Scaling behavior and structure transition of ZrO2 films deposited by RF magnetron sputtering

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作者
H.H. Zhang,Chunyu Ma,Qingyu Zhang
出处
期刊：Vacuum [Elsevier]
日期：2009-04-18 卷期号：83 (11): 1311-1316 被引量：39
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2009.04.041
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