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Scaling behavior and structure transition of ZrO2 films deposited by RF magnetron sputtering

材料科学薄膜微观结构溅射沉积高分辨率透射电子显微镜基质（水族馆）表面粗糙度溅射透射电子显微镜薄脆饼分析化学（期刊）表征（材料科学）腔磁控管表面光洁度复合材料纳米技术化学地质学海洋学色谱法

作者

H.H. Zhang,Chunyu Ma,Qingyu Zhang

出处

期刊：Vacuum [Elsevier BV]
日期：2009-04-18 卷期号：83 (11): 1311-1316 被引量：39

标识

DOI：10.1016/j.vacuum.2009.04.041

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