Preparation of ZnO Piezoelectric Thin-Film Material for Ultrasonic Transducers Applied in Bolt Stress Measurement

超声波传感器 压电 材料科学 溅射 薄膜 溅射沉积 基质(水族馆) 传感器 复合材料 残余应力 声学 压力(语言学) 光电子学 纳米技术 海洋学 物理 语言学 哲学 地质学
作者
Yihe Zhang,Yanghui Jiang,Chunde Ma,Jun Zhang,Bing Yang
出处
期刊:Coatings [Multidisciplinary Digital Publishing Institute]
卷期号:13 (9): 1538-1538
标识
DOI:10.3390/coatings13091538
摘要

The measurement of bolt preload by using ultrasound can be accurate, convenient, and can realize the real-time monitoring of the change in the residual axial stress of a bolt during use. In order to realize the ultrasonic measurement of bolt preload, the use of zinc oxide (ZnO) piezoelectric thin-film material as an ultrasonic transducer material to stimulate an ultrasonic signal on the bolt is a feasible solution. In this paper, we choose to use RF magnetron sputtering technology to prepare ZnO piezoelectric thin-film materials and study the effects of sputtering power and target substrate distance on the structure and ultrasonic properties of ZnO piezoelectric thin films during the preparation process, in order to lay the foundation for realizing the application of ZnO piezoelectric thin films in the field of bolt preload measurement. The experimental results show that too-large sputtering power or too-small target substrate distance will result in the particles having too much kinetic energy during sputtering and exhibiting a structure of multiorientation growth, which excites ultrasonic longitudinal–transverse waves. A sputtering power of 600 W, sputtering time of 4 h, and target substrate distance of 100 mm are ideal experimental parameters for a ZnO piezoelectric thin-film material to be excited by an ultrasonic longitudinal wave signal, and its ideal operating frequency is 41 MHZ. These research results of bolt stress detection demonstrate good application prospects.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
11完成签到 ,获得积分10
刚刚
1秒前
整齐豆芽发布了新的文献求助10
1秒前
1秒前
王怡发布了新的文献求助10
1秒前
刻苦的三问应助waoller1采纳,获得10
1秒前
科研通AI6应助waoller1采纳,获得10
1秒前
就滴滴勾儿完成签到,获得积分10
2秒前
2秒前
JamesPei应助迅速如柏采纳,获得10
2秒前
2秒前
lilizhou发布了新的文献求助10
2秒前
科研通AI6应助王钢门采纳,获得30
2秒前
Hello应助负责从丹采纳,获得10
3秒前
搞怪尔曼发布了新的文献求助10
5秒前
机读卡发布了新的文献求助10
5秒前
5秒前
ao20000106应助zjw8456采纳,获得20
5秒前
可靠的雨筠完成签到,获得积分10
6秒前
所所应助机智的世开采纳,获得10
6秒前
英俊的铭应助科研通管家采纳,获得30
6秒前
非而者厚应助科研通管家采纳,获得10
6秒前
科研通AI5应助科研通管家采纳,获得10
6秒前
研友_VZG7GZ应助科研通管家采纳,获得10
6秒前
SAAHOEL完成签到,获得积分10
6秒前
共享精神应助科研通管家采纳,获得10
6秒前
6秒前
搜集达人应助科研通管家采纳,获得20
6秒前
科研通AI6应助科研通管家采纳,获得10
7秒前
7秒前
7秒前
大模型应助科研通管家采纳,获得10
7秒前
圆锥香蕉应助科研通管家采纳,获得20
7秒前
NexusExplorer应助科研通管家采纳,获得10
7秒前
Starset应助科研通管家采纳,获得20
7秒前
Kkkk应助科研通管家采纳,获得10
7秒前
领导范儿应助科研通管家采纳,获得10
7秒前
Owen应助科研通管家采纳,获得10
7秒前
佰斯特威应助科研通管家采纳,获得10
7秒前
bkagyin应助小王采纳,获得50
7秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要!!请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
网络安全 SEMI 标准 ( SEMI E187, SEMI E188 and SEMI E191.) 1000
小鼠脑外侧隔核的全脑投射研究 500
计划经济时代的工厂管理与工人状况(1949-1966)——以郑州市国营工厂为例 500
INQUIRY-BASED PEDAGOGY TO SUPPORT STEM LEARNING AND 21ST CENTURY SKILLS: PREPARING NEW TEACHERS TO IMPLEMENT PROJECT AND PROBLEM-BASED LEARNING 500
Signals, Systems, and Signal Processing 400
Sociologies et cosmopolitisme méthodologique 400
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 纳米技术 计算机科学 内科学 化学工程 复合材料 物理化学 基因 催化作用 遗传学 冶金 电极 光电子学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 4619419
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 4021201
关于积分的说明 12448180
捐赠科研通 3705139
什么是DOI,文献DOI怎么找? 2043245
邀请新用户注册赠送积分活动 1075550
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 958855