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Evaluation of etching performance of single etching gases for high-κ films

蚀刻（微加工） 反应离子刻蚀 干法蚀刻 纳米技术 材料科学 光电子学 各向同性腐蚀 电介质 微电子机械系统 制作 化学 图层（电子） 医学 替代医学 病理
作者
Anhan Liu,Zhan Hou,Fan Wu,Xiaowei Zhang,Shingo Nakamura,Tomomi Irita,Akinari Sugiyama,Takashi Nishikawa,He Tian
出处
期刊：Microelectronic Engineering [Elsevier]
日期：2023-09-09 卷期号：282: 112087-112087
标识
DOI：10.1016/j.mee.2023.112087
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