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Research on the dynamic tracking error compensation method of the linear axis of an ultraprecision lathe based on a piezo nanopositioning platform

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作者
Siyuan Fu,Hong Yang,Kaihua Cui,Shouli Sun,Fang Duan,Zhong Jiang,Yongbin Zhang
出处
期刊：The International Journal of Advanced Manufacturing Technology [Springer Nature]
日期：2023-09-07 卷期号：128 (11-12): 5315-5330
链接
researchsquare.comdoi.org
标识
DOI：10.1007/s00170-023-12266-4
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