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Thermodynamic Analysis of Dissolved Oxygen in a Silicon Melt and the Effect of Processing Parameters on the Oxygen Distribution in Single-crystal Silicon During Czochralski Growth

硅 坩埚（大地测量学） 材料科学 氧气 杂质 Crystal（编程语言） 微下拉 极限氧浓度 分压 单晶 晶体生长 分析化学（期刊） 结晶学 冶金 化学 色谱法 有机化学 计算机科学 程序设计语言 计算化学
作者
Tai Li,Liang Zhao,Guoqiang Lv,Wenhui Ma,Mengyu Zhang,Zhenling Huang,Liang Zhao
出处
期刊：Silicon [Springer Nature]
日期：2022-09-03 卷期号：15 (2): 1049-1062 被引量：5
标识
DOI：10.1007/s12633-022-02059-x
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