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Highly sensitive 3C-SiC on glass based thermal flow sensor realized using MEMS technology

材料科学 碳化硅 灵敏度(控制系统) 微电子机械系统 电阻式触摸屏 温度系数 制作 基质(水族馆) 光电子学 流量传感器 流量(数学) 热的 体积流量 温度测量 电气工程 复合材料 电子工程 声学 工程类 几何学 替代医学 气象学 病理 地质学 物理 海洋学 医学 量子力学 数学
作者
V.R. Balakrishnan,Toan Dinh,Hoang‐Phuong Phan,Dzung Viet Dao,Nam‐Trung Nguyen
出处
期刊:Sensors and Actuators A-physical [Elsevier BV]
卷期号:279: 293-305 被引量:41
标识
DOI:10.1016/j.sna.2018.06.025
摘要

This paper presents a silicon carbide (SiC) based thermal flow sensor on a transparent and electrically insulating glass substrate via anodic bonding process. The paper elaborates on the fabrication steps of the thermal flow sensor. Three resistive heater size configurations of dimensions 100 μm × 100 μm, 300 μm × 300 μm, and 1000 μm × 1000 μm were fabricated. The thermoresistive properties of 3C-SiC on glass were investigated from ambient temperature to 443 K. The characterization of the SiC heater and temperature sensors revealed a high thermoresistive effect with a temperature coefficient of resistance (TCR) of approximately −20,716 ppm/K at ambient temperature(298 K) and −9367 ppm/K at 443 K respectively. The performance of the sensors was evaluated based on the sensitivity of the flow sensor. For a turbulent flow velocity of 7.4 m/s, the sensitivity of the sensor operating in the constant -voltage mode is 0.091 s/m with a power consumption of 133.50 mW for the 1000 μm × 1000 μm heater. Finally, a study on the flow direction was conducted to confirm the operation of 2-D direction independent hot-film flow sensor. Results indicated that the performance of the sensor remained the same when the flow direction was perpendicular to SiC heater and sensor respectively. However, the best sensitivity was achieved by passing air flow perpendicular to the sensing elements. The high TCR of the single crystalline 3C-SiC material, the relatively low power consumption on the order of milliwatts and the high sensitivity of our sensor demonstrates its potential use for high temperature flow sensing applications.
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