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The Si_xN_yH_z Passivation Study of Polycrystalline Silicon Solar Cells by PECVD

等离子体增强化学气相沉积 钝化 多晶硅 氮化硅 材料科学 硅 光电子学 太阳能电池 单晶硅 纳米技术 图层（电子） 薄膜晶体管
作者
YU Qing-rong
出处
期刊：Equipment for Electronic Products Manufacturing 日期：2008-01-01
链接
cnki.com.cn
摘要
Introduce antireflection coating and passivation silicon nitride thin films deposited by pecvd. Apply pecvd to the product line of solar cells, and discover the passivation effect by pecvd in polycrystalline silicon solar cells.Analyze the mechanism of polycrystalline silicon solar cells passivated by PECVD.
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