已入深夜,您辛苦了!由于当前在线用户较少,发布求助请尽量完整地填写文献信息,科研通机器人24小时在线,伴您度过漫漫科研夜!祝你早点完成任务,早点休息,好梦!

Investigation on the Influence of Macro-micro Grating Parameters on Diffraction Characteristics through FDTD Simulation

栅栏 衍射 衍射光栅 沟槽(工程) 时域有限差分法 光学 衍射效率 表面粗糙度 材料科学 闪耀光栅 流离失所(心理学) 表面光洁度 物理 计算机科学 心理治疗师 复合材料 程序设计语言 冶金 心理学
作者
Yaowen Ban,Biao Lei,Guoyong Ye,Guobo Zhao,Zhenghui Zhang,Hongzhong Li
标识
DOI:10.1109/icoim52180.2021.9524409
摘要

The grating is the displacement measurement standard, and the diffraction efficiency of the diffracted light of the grating mainly determines the accuracy of the displacement measurement system. In this work, through three-dimensional finite-difference time-domain (FDTD) method simulation, the diffraction efficiency of the ±1 st order diffracted light of the transmission diffraction grating under different macro complex groove types and micro surface roughness is studied, and the optimal groove type and surface roughness parameters were obtained. The research results provide a basis for the optimal design of grating manufacturing.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
顾矜应助焦立超采纳,获得10
3秒前
我是老大应助sganthem采纳,获得10
8秒前
完美世界应助丹丹采纳,获得10
10秒前
量子星尘发布了新的文献求助10
12秒前
12秒前
Owen应助小方采纳,获得10
13秒前
所所应助头号玩家采纳,获得10
13秒前
17秒前
uniquedl完成签到 ,获得积分10
17秒前
乐乐应助拉长的乐瑶采纳,获得10
21秒前
LIU完成签到 ,获得积分10
21秒前
czh给czh的求助进行了留言
21秒前
CR完成签到 ,获得积分10
22秒前
健忘雁梅发布了新的文献求助10
23秒前
慕青应助谨慎啤酒采纳,获得10
24秒前
意昂完成签到 ,获得积分10
26秒前
鲤鱼初柳完成签到 ,获得积分10
30秒前
31秒前
山鬼谣不会枯死的花完成签到,获得积分10
32秒前
Chengcheng发布了新的文献求助10
34秒前
34秒前
34秒前
中心湖小海棠完成签到,获得积分10
35秒前
李健应助饶丹采纳,获得10
36秒前
Mars_1108发布了新的文献求助10
36秒前
ED应助U9A采纳,获得10
38秒前
38秒前
39秒前
完美世界应助自觉向秋采纳,获得10
45秒前
善学以致用应助Abby采纳,获得10
47秒前
科研通AI2S应助Jemma采纳,获得10
47秒前
50秒前
jimi发布了新的文献求助10
51秒前
51秒前
51秒前
小左发布了新的文献求助10
51秒前
飞源发布了新的文献求助10
53秒前
53秒前
自觉向秋发布了新的文献求助10
56秒前
拉长的乐瑶完成签到,获得积分10
57秒前
高分求助中
A new approach to the extrapolation of accelerated life test data 1000
Picture Books with Same-sex Parented Families: Unintentional Censorship 700
ACSM’s Guidelines for Exercise Testing and Prescription, 12th edition 500
Nucleophilic substitution in azasydnone-modified dinitroanisoles 500
不知道标题是什么 500
Indomethacinのヒトにおける経皮吸収 400
Phylogenetic study of the order Polydesmida (Myriapoda: Diplopoda) 370
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 冶金 细胞生物学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3976455
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 3520548
关于积分的说明 11203850
捐赠科研通 3257210
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1798648
邀请新用户注册赠送积分活动 877835
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 806539