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82‐1: Invited Paper: Large Area Thin Film Encapsulation from Bendable to Rollable and Foldable
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作者
Helinda Nominanda,
Wenhao Wu,
Jerry R. Chen,
Soo Young Choi
出处
期刊：
Sid's Digest Of Technical Papers
[Wiley]
日期：2018-05-01
卷期号：49 (1): 1103-1105
被引量：8
标识
DOI：10.1002/sdtp.12122
摘要
Single layer barrier layer and multi‐layer barrier/buffer/barrier layers thin film encapsulation (TFE) were developed by large area PECVD. The barrier performances as well as mechanical bending flexibility were demonstrated.
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