A high-precision method for manufacturing tunable solid microneedles using dicing saw and xenon difluoride-induced dry etching

晶片切割 二氟化氙 材料科学 干法蚀刻 蚀刻(微加工) 氙气 二氟 光电子学 复合材料 纳米技术 薄脆饼 化学 有机化学 无机化学 图层(电子)
作者
Ismail Eş,Abdullah Kafadenk,Fatih İnci
出处
期刊:Journal of Materials Processing Technology [Elsevier]
卷期号:: 118268-118268
标识
DOI:10.1016/j.jmatprotec.2023.118268

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