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Dislocations in 4H-SiC epilayers for power devices: Identification, formation, and regulation

材料科学 鉴定（生物学） 功率（物理） 碳化硅 光电子学 工程物理 功率半导体器件 复合材料 热力学 植物 生物 物理 工程类
作者
Yifei Li,Peng‐Xiang Hou,Shuangyuan Pan,Pin Wang,Weiwei Cheng,Jing Wang,Le Yu,Zheyang Li,Rui Jin
出处
期刊：Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier]
日期：2024-11-26 卷期号：187: 109147-109147 被引量：6
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2024.109147
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