Hybrid deposition of AlTiN/WN multilayer films with low compressive stress at low temperature

材料科学 抗压强度 沉积(地质) 复合材料 压力(语言学) 地质学 古生物学 语言学 哲学 沉积物
作者
Liangliang Lin,Song Zhang,Zhengtao Wu,Yisong Lin,Aijuan Zheng,Chao-Xing Liu,Rong Tu,Qiming Wang
出处
期刊:Surface & Coatings Technology [Elsevier]
卷期号:: 130863-130863
标识
DOI:10.1016/j.surfcoat.2024.130863
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