Reaction of Si with HCl to Form Chlorosilanes

氯硅烷 反应速率 化学气相沉积 化学工程 化学 化学反应 薄膜 反应机理 电化学 速率方程 化学动力学 无机化学 材料科学 纳米技术 催化作用 动力学 物理化学 电极 有机化学 物理 量子力学 工程类
作者
Suguru Noda,Katsuaki Tanabe,Takashi Yahiro,Toshio Osawa,Hiroshi Komiyama
出处
期刊:Journal of The Electrochemical Society [The Electrochemical Society]
卷期号:151 (6): C399-C399 被引量:14
标识
DOI:10.1149/1.1737386
摘要

We propose a chemical vapor deposition (CVD) process with closed gas recycling for making low-cost, crystalline silicon thin films for solar cells, which connects chlorosilane synthesis from Si and HCl with Si thin-film growth by CVD from chlorosilanes. In this work we studied the formation of chlorosilanes by the reaction of Si with HCl at temperatures ranging from 623 to 723 K. The reaction rate is time dependent, and many pores are formed on the surface of particles after reaction. These pores are active sites for chemical reactions, and the reaction rates increase with increasing pore area. The rate can be correlated with the conversion ratio of Si, and the temporal evolution of the reaction rate can be explained by a reaction model called the shrinking-core model with growing pores. By using this model, we estimated the reaction rates per unit area of activated surfaces and converted them into a rate equation that can be used for the reactor design. The incubation time of the reaction can be shortened by pretreating the Si particles in a fluidized bed, which probably creates defects in the native oxide layers on the particles, which in turn become reactive sites. © 2004 The Electrochemical Society. All rights reserved.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
大幅提高文件上传限制,最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
顾矜应助科研通管家采纳,获得10
刚刚
小二郎应助科研通管家采纳,获得10
刚刚
刚刚
香蕉觅云应助科研通管家采纳,获得10
1秒前
在水一方应助科研通管家采纳,获得30
1秒前
JamesPei应助科研通管家采纳,获得10
1秒前
天天快乐应助科研通管家采纳,获得10
1秒前
1秒前
好困应助科研通管家采纳,获得10
1秒前
wangyi完成签到,获得积分10
2秒前
ldysaber发布了新的文献求助20
2秒前
Auditor完成签到 ,获得积分10
2秒前
修勾完成签到 ,获得积分10
3秒前
傅31完成签到,获得积分10
3秒前
黑钻完成签到,获得积分10
3秒前
搜集达人应助windli采纳,获得10
3秒前
小鱼完成签到,获得积分10
3秒前
ccq发布了新的文献求助10
4秒前
甘sir完成签到 ,获得积分10
4秒前
YY完成签到 ,获得积分10
4秒前
5秒前
小杨发布了新的文献求助10
5秒前
美好的采波完成签到,获得积分10
6秒前
6秒前
wenting123完成签到 ,获得积分10
6秒前
6秒前
坚定思枫完成签到 ,获得积分10
6秒前
涂惠芳完成签到,获得积分10
7秒前
科研蚂蚁完成签到,获得积分10
7秒前
7秒前
guoguo1119完成签到,获得积分10
8秒前
liZZZZZ完成签到,获得积分10
8秒前
宇文非笑发布了新的文献求助10
9秒前
科研小垃圾完成签到,获得积分10
10秒前
lalala发布了新的文献求助10
10秒前
sysi发布了新的文献求助10
11秒前
Robertchen完成签到,获得积分10
12秒前
998877剑指完成签到,获得积分10
12秒前
在水一方应助liuzengzhang666采纳,获得10
12秒前
糊涂的青烟完成签到 ,获得积分10
12秒前
高分求助中
Sustainability in Tides Chemistry 2800
The Young builders of New china : the visit of the delegation of the WFDY to the Chinese People's Republic 1000
Rechtsphilosophie 1000
Bayesian Models of Cognition:Reverse Engineering the Mind 888
Le dégorgement réflexe des Acridiens 800
Defense against predation 800
A Dissection Guide & Atlas to the Rabbit 600
热门求助领域 (近24小时)
化学 医学 生物 材料科学 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 基因 遗传学 催化作用 物理化学 免疫学 量子力学 细胞生物学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3134083
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 2784918
关于积分的说明 7769341
捐赠科研通 2440444
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1297415
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 624959
版权声明 600792