Trends of Silicon Wafer Specifications vs. Design Rules in ULSI Device Fabrication. Particles, Flatness and Impurity Distribution Deviations

平坦度(宇宙学) 薄脆饼 杂质 制作 晶圆制造 材料科学 光电子学 化学 物理 医学 替代医学 有机化学 宇宙学 病理 量子力学
作者
Mototaka Kamoshida
出处
期刊:Denki kagaku oyobi kōgyō butsuri kagaku [The Electrochemical Society of Japan]
卷期号:63 (3): 194-204 被引量:2
标识
DOI:10.5796/kogyobutsurikagaku.63.194
摘要

Previously described empiricahelations between the design rules and the past trends of the smallest size㎝d number of particles,warpage,LTV(Local Thickness Variation),OSF(Oxidation-induced Stacking Fault density)and sheet resistance deviation capable of causing a scrapping die are discussed with theoretical considerations for DRAM(Dynamic Rξmdom Access Memory),gate amy devices md microprocessorunit devices。Underthe assumption thatthese trends will condnue to the generation ofthe smallest design-rule transistor operating at room temperature, the target wafer specifications and future technicahssues arepredicted. 1.lntroduction The sustained rate of advance of semiconductor industry requires moreprecisely-controlled equipment and highlyspecified materialsl), thereby the semiconductorindustry faces lowerretum-oninvestments due to the higher cost ofproducts against their market prices.To solve the problem,all specifications of equipment and materials should be reviewed to ehminate over-or extra-specified items, From such viewpoints,conceming the starting material silicon-wafer specif量cadons, the author described previously the major items chosen among the conventional full specifications w量th a deployment of LSI quality functions to the wafer specification items2),These efforts contribute to reducing
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
1秒前
2秒前
ZZZ关闭了ZZZ文献求助
2秒前
小小酥被卷了完成签到,获得积分10
5秒前
5秒前
6秒前
7秒前
猪猪hero发布了新的文献求助10
7秒前
东木应助yf采纳,获得100
7秒前
冷艳的道天完成签到 ,获得积分10
9秒前
追晚风的人完成签到 ,获得积分10
10秒前
10秒前
暖暖圆圆完成签到 ,获得积分10
10秒前
10秒前
花花发布了新的文献求助10
11秒前
11秒前
gar发布了新的文献求助10
11秒前
无限的山水完成签到 ,获得积分10
12秒前
炎炎夏无声完成签到 ,获得积分10
13秒前
CHSLN完成签到 ,获得积分10
14秒前
liu发布了新的文献求助10
15秒前
16秒前
16秒前
小穆完成签到,获得积分10
17秒前
ratziel发布了新的文献求助10
17秒前
vin应助rita_sun1969采纳,获得40
17秒前
坚定的慕卉完成签到,获得积分10
17秒前
Lucas应助眼睛大尔白采纳,获得10
17秒前
cdercder发布了新的文献求助10
20秒前
持满发布了新的文献求助10
20秒前
科研通AI5应助没有昵称采纳,获得10
21秒前
怡然的乘风完成签到 ,获得积分10
21秒前
CV16完成签到,获得积分10
23秒前
Ren应助宋晓静采纳,获得10
24秒前
浮浮沉沉发布了新的文献求助10
24秒前
26秒前
fei完成签到,获得积分10
26秒前
Toong完成签到,获得积分10
28秒前
28秒前
28秒前
高分求助中
A new approach to the extrapolation of accelerated life test data 1000
ACSM’s Guidelines for Exercise Testing and Prescription, 12th edition 500
‘Unruly’ Children: Historical Fieldnotes and Learning Morality in a Taiwan Village (New Departures in Anthropology) 400
Indomethacinのヒトにおける経皮吸収 400
Phylogenetic study of the order Polydesmida (Myriapoda: Diplopoda) 370
基于可调谐半导体激光吸收光谱技术泄漏气体检测系统的研究 350
Robot-supported joining of reinforcement textiles with one-sided sewing heads 320
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 冶金 细胞生物学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3988827
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 3531183
关于积分的说明 11252671
捐赠科研通 3269809
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1804780
邀请新用户注册赠送积分活动 881885
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 809021