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Improved crystal quality of AlGaN by Al ion-implantation sapphire substrate

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作者
Hongchang Tao,Shengrui Xu,Huake Su,Tao Zhang,Jincheng Zhang,Yachao Zhang,Yuan Gao,Xu Liu,Hao Lu,Lei Xie,Xia An,Yue Hao
出处
期刊：Materials Letters [Elsevier]
日期：2023-08-25 卷期号：351: 135097-135097 被引量：2
标识
DOI：10.1016/j.matlet.2023.135097
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