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Intelligent MEMS Sensor Based on an Oxidized Medium-Entropy Alloy (FeCoNi) for H2 and CO Recognition

材料科学 放热反应 合金 微电子机械系统 熵（时间箭头） 催化作用 化学工程 纳米技术 复合材料 热力学 有机化学 工程类 化学 物理
作者
Wenjun Yan,Yun Liu,Yan Bai,Yulong Chen,Houpan Zhou,Waqar Ahmad
出处
期刊：ACS Applied Materials & Interfaces [American Chemical Society]
日期：2024-09-04 卷期号：16 (37): 49474-49483
链接
nih.govdoi.org
标识
DOI：10.1021/acsami.4c07782
摘要
In this paper, we present the design and evaluation of an intelligent MEMS sensor employing the oxidized medium-entropy alloy (O-MEA) of FeCoNi as the gas-sensing material. Due to the specific catalytic exothermic reaction of the O-MEA on H
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