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Effects of Junction Doping Profile on the Performance of Traveling-Wave Silicon Modulators

行波 兴奋剂 带宽（计算） 功勋 硅 材料科学 光电子学 p-n结 光学 电信 计算机科学 物理 半导体 数学分析 数学
作者
Abdolkhalegh Mohammadi,Alireza Geravand,Leslie A. Rusch,Wei Shi
标识
DOI：10.1109/ipc57732.2023.10360693
摘要
We experimentally compare several traveling-wave silicon modulator designs in lateral p-n junctions for an ultra-broad bandwidth beyond 67 GHz. We examine the impact of doping profiles on the critical figures of merit.
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