Ultrahigh-quality-factor micro- and nanomechanical resonators using dissipation dilution

消散 谐振器 质量(理念) 材料科学 纳米技术 传感器 Q系数 纳米力学 微电子机械系统 光电子学 物理 声学 热力学 量子力学 原子力显微镜
作者
Nils J. Engelsen,Alberto Beccari,Tobias J. Kippenberg
出处
期刊:Nature Nanotechnology [Nature Portfolio]
卷期号:19 (6): 725-737 被引量:29
标识
DOI:10.1038/s41565-023-01597-8
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