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Gas-phase and film analysis of hydrogenated amorphous carbon films: Effect of ion bombardment energy flux on sp2 carbon structures

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作者
Hirotsugu Sugiura,Yasuyuki Ohashi,Kenji Ishikawa,Hiroki Kondo,Toshiaki Kato,Toshiro Kaneko,Keigo Takeda,Takayoshi Tsutsumi,Toshio Hayashi,Makoto Sekine,Masaru Hori
出处
期刊：Diamond and Related Materials [Elsevier]
日期：2019-12-12 卷期号：104: 107651-107651 被引量：7
标识
DOI：10.1016/j.diamond.2019.107651
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