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Design of composite abrasives and substrate materials for chemical mechanical polishing applications

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作者
Fanning Meng,Zhenyu Zhang,Peili Gao,Tingting Liu,Yash Boyjoo,Dongming Guo
出处
期刊：Applied Nanoscience [Springer Science+Business Media]
日期：2019-11-07 卷期号：10 (5): 1379-1393 被引量：23
标识
DOI：10.1007/s13204-019-01211-1
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