Femtosecond laser deep hole drilling of silicate glasses in air

激光打孔 硅酸盐玻璃 硅酸盐 钻探
作者
Lawrence Shah,J. Tawney,Martin Richardson,Kathleen Richardson
出处
期刊:Applied Surface Science [Elsevier BV]
卷期号:183 (3-4): 151-164 被引量:83
标识
DOI:10.1016/s0169-4332(01)00468-8
摘要

Femtosecond laser pulses are ideal for many precise and delicate laser processing applications. In this work, we demonstrate that femtosecond laser pulses can be used to produce microscopic holes (<100 μm diameter) with macroscopic depth (>1 mm) in silicate glasses at atmospheric pressures. These experiments indicate that self-focusing is an important factor affecting hole depth at high laser intensity.
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