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作者
M. Fanciulli,G. Scarel
出处
期刊:Topics in Applied Physics
日期:2006-11-07
被引量:218
摘要
Thin rare earth (RE) oxide films are emerging materials for microelectronic, nanoelectronic, and spintronic applications. The state-of-the-art of thin film deposition techniques as well as the structu
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