Flexible Electronics: High Pressure Chemical Vapor Deposition of Hydrogenated Amorphous Silicon Films and Solar Cells (Adv. Mater. 28/2016)

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作者
Rongrui He,T. D. Day,Justin R. Sparks,Nichole F. Sullivan,John V. Badding
出处
期刊:Advanced Materials [Wiley]
卷期号:28 (28): 5938-5938 被引量:1
标识
DOI:10.1002/adma.201670195
摘要

On page 5939, J. V. Badding and co-workers describe the unrolling of a flexible hydrogenated amorphous silicon solar cell, deposited by high-pressure chemical vapor deposition. The high-pressure deposition process is represented by the molecules of silane infiltrating the small voids between the rolled up substrate, facilitating plasma-free deposition over a very large area. The high-pressure approach is expected to also find application for 3D nanoarchitectures.

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