Three-Electrode Metal-Oxide Gas Sensor System with CMOS Interface IC

CMOS芯片 电极 材料科学 光电子学 接口(物质) 氧化物 电气工程 电子工程 工程类 化学 冶金 复合材料 毛细管数 物理化学 毛细管作用
作者
Jeong-Ho Park,Kwang‐Min Park,Tae‐Wan Kim,S.K. Shin,Chong-Ook Park,Hyung-Joun Yoo
出处
期刊:IEEE Sensors Journal [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
卷期号:: 1-1 被引量:16
标识
DOI:10.1109/jsen.2016.2633561
摘要

This paper proposes a system with CMOS interface IC for three-electrode metal-oxide gas sensor. The proposed system adopts a switching scheme using pulsewidth modulation signals in order to control the temperature of the heater and measure the resistance of the sensor simultaneously in actual. Furthermore, the switching method can solve the electrical asymmetry issue of the sensor. Wide variation in the resistance of the sensor is covered by the mode-adjustable integrator. The proposed system achieves temperature control up to 250 °C, and detectable resistance range of the sensing material from 80 Ω to 2 MQ with relative error of less than 1.5%.
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