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Development of a broadband Mueller matrix ellipsometer as a powerful tool for nanostructure metrology

计量学 穆勒微积分 椭圆偏振法 纳米结构 纳米计量学 基质（化学分析） 纳米技术 光学 平版印刷术 计算机科学 材料科学 物理 薄膜 旋光法 散射 复合材料
作者
Shiyuan Liu,Xiuguo Chen,Chuanwei Zhang
出处
期刊：Thin Solid Films [Elsevier]
日期：2015-02-10 卷期号：584: 176-185 被引量：132
标识
DOI：10.1016/j.tsf.2015.02.006
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