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High Performance AlN/GaN HEMT for Millimeter-Wave Low-Voltage Applications Fabricated Using Low-Damage Etching

高电子迁移率晶体管 光电子学 蚀刻（微加工） 材料科学 宽禁带半导体 氮化镓 极高频率 电压 晶体管 电气工程 纳米技术 计算机科学 图层（电子） 工程类 电信
作者
Hanzhen Li,Minhan Mi,Can Gong,Pengfei Wang,Yuwei Zhou,Xinyi Wen,S. Y. Wen,Xiaohua Ma
出处
期刊：IEEE Electron Device Letters [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
日期：2024-01-01 卷期号：: 1-1
标识
DOI：10.1109/led.2024.3470117
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