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A polymer–semiconductor–ceramic cantilever for high-sensitivity fluid-compatible microelectromechanical systems

悬臂梁 微电子机械系统 陶瓷 材料科学 灵敏度（控制系统） 半导体 聚合物 光电子学 复合材料 电子工程 工程类
作者
Nahid Hosseini,Matthias Neuenschwander,Jonathan D. Adams,Santiago H. Andany,Oliver Peric,Marcel Winhold,Maria Carmen Giordano,V. Bhat,Marcos Penedo,Dirk Grundler,Georg E. Fantner
出处
期刊：Nature electronics [Springer Nature]
日期：2024-07-15
标识
DOI：10.1038/s41928-024-01195-z
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