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作者
Feng Zhao,
Irshad Ahmad,
S. AlFaify,
Khaled M. Alanezi,
Hossein Bayahia,
Ebrahim A. Aladsani,
Thamraa Alshahrani
出处
期刊：
Materials Science in Semiconductor Processing
[Elsevier]
日期：2024-11-01
卷期号：182: 108716-108716
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2024.108716
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