A MEMS fast steering mirror with a large optical aperture and high surface quality for free-space optical communication

自由空间光通信 光学 光通信 光束转向 变形镜 自由空间 微电子机械系统 自适应光学 物理 材料科学 光电子学 梁(结构)
作者
Yang Yi,Yichen Liu,Yongquan Su,Zhichao Weng,Qianying Sun,Qifeng Qiao,Wenli Xue,Yonggui Zhang,Yang Wang,Lihao Wang,Zhenyu Wu
出处
期刊:Optics Express [The Optical Society]
标识
DOI:10.1364/oe.525126
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