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Investigation of silicon nitride for spacer via plasma-enhanced atomic layer deposition using a (tert-butylamino)dimethylsilane precursor

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作者
Chae Yeon Park,Hae Lin Yang,Hye-Mi Kim,Daejung Kim,Yongjoo Park,Jongruyl Park,Seokhee Shin,Jin‐Seong Park
出处
期刊：Applied Surface Science [Elsevier]
日期：2024-07-09 卷期号：670: 160715-160715
标识
DOI：10.1016/j.apsusc.2024.160715
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