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复合材料
程序设计语言
作者
Richard Beaudry,Iftekharul Islam,Amrid Amnache,Maurice Delafosse,Luc Fréchette
摘要
Digital lithography shortens development cycle time. Laser-based lithography is slow and lacks in overlay precision. The DIGITHO programmable photomask fits into standard photolithography steppers without system modifications. It can generate a different mask for each exposure. DIGITHO offers the most cost-effective solution for die-level serialization and fast prototyping to high throughput manufacturing.
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