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High-temperature adaptive through-silicon via with pyrolyzed carbon via-sealing plates for packaging 3D carbon nanostructure-based devices fabricated using C-MEMS

纳米结构 材料科学 微电子机械系统 硅 热解 碳纤维 纳米技术 复合材料 化学工程 光电子学 复合数 工程类
作者
Jong-Hyun Kwak,Wootaek Cho,Beomsang Kim,Taejung Kim,Heungjoo Shin
出处
期刊：Carbon [Elsevier BV]
日期：2023-10-17 卷期号：216: 118534-118534 被引量：3
标识
DOI：10.1016/j.carbon.2023.118534
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总排名
1#10825 nozero
4431
63940
2#9082 SYLH
4508
45740
3#8620 科研小民工
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3453
48740
5#4266 xjcy
2126
21400
6#2849 小透明
1125
17240
7#2809 劲秉
635
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8#2243 迟大猫
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11250
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1045
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10#1824 CAOHOU
908
9160
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853
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688
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562
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607
6070
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432
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405
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18#930 枫叶
457
4730
19#926 36456657
452
4740
20#738 1+1
324
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61
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324
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325
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313
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284
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59
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31#436 HEIKU
218
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197
2140
33#410 实验好难
190
2200
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194
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35#384 VDC
127
2570
36#380 Singularity
189
1910
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182
1880
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181
1880
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179
1890
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64
3020
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168
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161
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141
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46#316 时丶倾
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133
1780
48#308 贰鸟
142
1660
49#308 8R60d8
154
1540
50#301 一一
98
2030
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