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Individual dopant profiles in high energy multiple implantation under channeling conditions

材料科学 掺杂剂 退火（玻璃） 离子注入 硅 砷 低能 掺杂剂活化 兴奋剂 光电子学 冶金 原子物理学 离子 量子力学 物理
作者
Yoji Kawasaki,Takuya Sakaguchi,Makoto Sano,Haruka Sasaki
出处
期刊：MRS Advances [Springer Nature]
日期：2022-11-08 卷期号：7 (36): 1459-1462
标识
DOI：10.1557/s43580-022-00369-1
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