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Effect of nanosilica abrasive properties on tungsten chemical mechanical planarization

化学机械平面化 钨 磨料 材料科学 复合材料 冶金 抛光
作者
Jingwei Zhang,Gaoyuan Ren,Li Wang,Wenxiang Xie,Deng Pan,Hongjiu Su,Shudong Wang
出处
期刊：Journal of Materials Science: Materials in Electronics [Springer Nature]
日期：2024-02-01 卷期号：35 (5)
标识
DOI：10.1007/s10854-023-11914-5
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