High performance raster scanning of atomic force microscopy using Model-free Repetitive Control

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作者
Linlin Li,Andrew J. Fleming,Yuen Kuan Yong,Sumeet S. Aphale,Limin Zhu
出处
期刊:Mechanical Systems and Signal Processing [Elsevier]
卷期号:173: 109027-109027 被引量:8
标识
DOI:10.1016/j.ymssp.2022.109027

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