Long-Term Stability of SiNxThin-Film Barriers Deposited by Low Temperature PECVD for OLED

材料科学 等离子体增强化学气相沉积 相对湿度 氮化硅 分析化学(期刊) 水蒸气 体积流量 俄歇电子能谱 化学气相沉积 纳米技术 化学 光电子学 有机化学 量子力学 热力学 物理 核物理学
作者
Min Ho Oh,Eun Kil Park,Sung Min Kim,Jaeyeong Heo,Hyeong Joon Kim
出处
期刊:ECS Journal of Solid State Science and Technology [Institute of Physics]
卷期号:5 (5): R55-R58 被引量:9
标识
DOI:10.1149/2.0021605jss
摘要

Silicon nitride thin film barriers for organic light emitting diode with stress and water vapor transmission rate related to a function of NH3/SiH4 gas flow rate were deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition at 85°C. To evaluate the changes of the film properties before and after the storage in high temperature and humidity, the samples were stored in a chamber at 85°C and 85% relative humidity for up to 240 hrs. Both the stress and the refractive index decreased with increasing NH3/SiH4 gas flow ratio. The values varied significantly with higher NH3/SiH4 gas flow ratios. The refractive index of the SiNx barrier with NH3/SiH4 ratio of 3.2 decreased to 1.44, which is a similar value to SiOx film. FTIR analysis showed that the Si-N and N-H bonds reacted with water vapor/oxygen and formed thermodynamically more stable Si-O or Si-OH bonds. The in-depth composition analysis by Auger electron spectorscopy showed that the oxidation rate for the NH3/SiH4 gas ratios of 0.8 and 3.2 were 0.88 and 6.63 Å/hr, respectively. Cross-section transmission electron microscopy confirmed the calculated oxidation rates of the SiNx barrier layers.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
大橙子发布了新的文献求助10
刚刚
2秒前
Zhh完成签到 ,获得积分10
2秒前
Tina完成签到,获得积分10
4秒前
微生完成签到 ,获得积分10
4秒前
5秒前
chhzz完成签到 ,获得积分10
6秒前
飞舞伤寒发布了新的文献求助20
6秒前
曾珍发布了新的文献求助10
8秒前
qwe完成签到,获得积分10
9秒前
Xdz完成签到 ,获得积分10
9秒前
cai完成签到 ,获得积分10
12秒前
雨恋凡尘完成签到,获得积分0
15秒前
羊羔肉完成签到,获得积分10
17秒前
胖丁完成签到,获得积分10
17秒前
笨笨凡松完成签到,获得积分10
20秒前
飞舞伤寒完成签到,获得积分10
20秒前
贝利亚完成签到,获得积分10
22秒前
喜多多的小眼静完成签到 ,获得积分10
22秒前
22秒前
Dsunflower完成签到 ,获得积分10
23秒前
羊羔肉发布了新的文献求助50
24秒前
半夏发布了新的文献求助10
24秒前
25秒前
25秒前
大橙子发布了新的文献求助10
26秒前
星辰大海应助贝利亚采纳,获得10
26秒前
27秒前
sunny心晴完成签到 ,获得积分10
29秒前
独特的凝云完成签到 ,获得积分10
29秒前
TheDing完成签到,获得积分10
30秒前
传奇3应助lenetivy采纳,获得10
32秒前
积极的忆曼完成签到,获得积分10
33秒前
量子星尘发布了新的文献求助10
33秒前
酒剑仙完成签到,获得积分10
33秒前
YANGMJ完成签到,获得积分10
34秒前
xialuoke完成签到,获得积分10
34秒前
scinature发布了新的文献求助10
35秒前
35秒前
35秒前
高分求助中
【提示信息,请勿应助】关于scihub 10000
Les Mantodea de Guyane: Insecta, Polyneoptera [The Mantids of French Guiana] 3000
徐淮辽南地区新元古代叠层石及生物地层 3000
The Mother of All Tableaux: Order, Equivalence, and Geometry in the Large-scale Structure of Optimality Theory 3000
Handbook of Industrial Diamonds.Vol2 1100
Global Eyelash Assessment scale (GEA) 1000
Picture Books with Same-sex Parented Families: Unintentional Censorship 550
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 冶金 细胞生物学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 4038201
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 3575940
关于积分的说明 11373987
捐赠科研通 3305747
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1819274
邀请新用户注册赠送积分活动 892662
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 815022