发布文献求助

Wet Oxide Etching of Dual Gate Oxide for 0.13μm Technologies and Beyond: Interaction with Photoresist and Equipment

光刻胶 材料科学 氧化物 蚀刻（微加工） 栅氧化层 对偶（语法数字） 冶金 光电子学 纳米技术 电气工程 晶体管 工程类 文学类 艺术 电压 图层（电子）
作者
Simon Y.M. Chooi,Sang-Yee Loong,Christopher Y. Lim,Zainab Ismail,Tjin-Tjin Tjoa
出处
期刊：Solid State Phenomena 日期：2003-05-01 卷期号：92: 85-88 被引量：2
标识
DOI：10.4028/www.scientific.net/ssp.92.85
最长约 10秒，即可获得该文献文件
相关文献
科研通AI机器人已完成分析
对不起，本页面需要您登录以后才可查看
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
大幅提高文件上传限制，最高150M (2024-4-1)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
桑梓发布了新的文献求助10
1秒前
重要冷雁完成签到，获得积分10
2秒前
2秒前
qiqi完成签到 ，获得积分10
2秒前
上官若男的应助被doctorman采纳，获得20
3秒前
是栗子大姐姐啊完成签到，获得积分10
3秒前
万能图书馆的应助被珍惜采纳，获得10
4秒前
重度拖延症的可乐妹完成签到，获得积分10
5秒前
情怀的应助被桑梓采纳，获得10
5秒前
葡萄完成签到，获得积分20
7秒前
8秒前
星辰大海的应助被Zyy采纳，获得10
9秒前
羅卜貳发布了新的文献求助10
10秒前
爆米花的应助被NINI采纳，获得10
10秒前
Monicamo完成签到，获得积分10
10秒前
11秒前
威武十八完成签到，获得积分10
11秒前
13秒前
14秒前
15秒前
HT-Wang发布了新的文献求助10
15秒前
keroro完成签到，获得积分10
15秒前
qgyj发布了新的文献求助10
16秒前
德鲁大叔完成签到，获得积分10
17秒前
怕黑嘉熙发布了新的文献求助10
17秒前
TsutsumiRyuu发布了新的文献求助10
17秒前
17秒前
18秒前
孤独元容完成签到，获得积分10
18秒前
20秒前
初淇发布了新的文献求助10
20秒前
orixero的应助被nyc采纳，获得10
20秒前
doctorman发布了新的文献求助20
21秒前
白影柒关注了科研通微信公众号
21秒前
22秒前
22秒前
zlzl发布了新的文献求助10
23秒前
Zyy发布了新的文献求助10
24秒前
Kiriya完成签到，获得积分10
24秒前
德鲁大叔发布了新的文献求助10
24秒前
高分求助中
Evolution 10000
Becoming: An Introduction to Jung's Concept of Individuation 600
Ore genesis in the Zambian Copperbelt with particular reference to the northern sector of the Chambishi basin 500
A new species of Coccus (Homoptera: Coccoidea) from Malawi 500
A new species of Velataspis (Hemiptera Coccoidea Diaspididae) from tea in Assam 500
PraxisRatgeber: Mantiden: Faszinierende Lauerjäger 500
The Kinetic Nitration and Basicity of 1,2,4-Triazol-5-ones 440
热门求助领域 （近24小时）
化学 医学 生物 材料科学 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 基因 遗传学 催化作用 物理化学 免疫学 量子力学 细胞生物学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 3164260
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 2815000
关于积分的说明 7907415
捐赠科研通 2474608
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 1317598
科研通“疑难数据库（出版商）”最低求助积分说明 631857
版权声明 602228
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：826996720【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通