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The nature of residues following the ashing of arsenic implanted photoresist

灰化 砷 残留物（化学） 光刻胶 材料科学 硫酸 碳纤维 过氧化氢 环境化学 表征（材料科学） 冶金 化学 纳米技术 有机化学 复合材料 物理 图层（电子） 量子力学 复合数
作者
Clifton W. Draper,Chuck W. Pearce,Jere T. Glick,M. H. Gordon,Gwen E. Olness,Steven L. Bernasek
出处
期刊：Journal of Materials Research [Springer Nature]
日期：1997-10-01 卷期号：12 (10): 2799-2808 被引量：6
标识
DOI：10.1557/jmr.1997.0373
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