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Effect of O2 plasma pretreatment on structural and optical properties of ZnO films on PES substrate by atomic layer deposition

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作者
J.H. Heo,Hyukhyun Ryu,Won–Jae Lee
出处
期刊：Journal of Industrial and Engineering Chemistry [Elsevier]
日期：2013-02-14 卷期号：19 (5): 1638-1641 被引量：11
标识
DOI：10.1016/j.jiec.2013.02.001
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