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Pulsed laser deposition of non-stoichiometric silicon nitride (SiNx) thin films

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作者
J.M. Lackner,Wolfgang Waldhauser,R. Ebner,Michael Beutl,Georg Jakopič,G. Leising,Herbert Hutter,Martin Rösner
出处
期刊：Applied Physics A [Springer Nature]
日期：2004-09-01 卷期号：79 (4-6): 1525-1527 被引量：6
标识
DOI：10.1007/s00339-004-2838-0
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