烧蚀
材料科学
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光电子学
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航空航天工程
工程类
地质学
物理
海洋学
作者
J. S. Yahng,Sae Chae Jeoung
标识
DOI:10.1109/qels.2007.4431172
摘要
Ultrafast laser ablation of crystalline silicon was investigated as a function of temperature. The ablation efficiency is slightly enhanced with an apparent decrease in ablation threshold and surface roughness at a high substrate temperature.
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