Hf0.5Zr0.5O₂-Based Ferroelectric Field-Effect Transistors With HfO₂ Seed Layers for Radiation-Hard Nonvolatile Memory Applications

铁电性 材料科学 光电子学 分析化学(期刊) 化学 有机化学 电介质
作者
Chen Liu,Wenwu Xiao,Yue Peng,Binjian Zeng,Shuaizhi Zheng,Lu Yin,Qiangxiang Peng,Xiangli Zhong,Min Liao,Yichun Zhou
出处
期刊:IEEE Transactions on Electron Devices [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
卷期号:68 (9): 4368-4372 被引量:27
标识
DOI:10.1109/ted.2021.3095036
摘要

Hf 0.5 Zr 0.5 O 2 (HZO)-based ferroelectric field-effect transistors (FeFETs) with HfO 2 seed layer were investigated for radiation-hard nonvolatile memory applications. First, it was found that the HZO thin films grown on HfO 2 seed layer showed improved crystallinity and ferroelectricity compared with those directly grown on SiO 2 thin film, leading to a larger memory window (MW), better endurance, and retention properties of the HZO-based FeFETs with HfO 2 seed layers. Moreover, after 1 Mrad(Si) 60 Co γ-ray irradiation, the memory properties of the HZO-based FeFETs with HfO 2 seed layer were also better than those without the HfO 2 seed layer. Especially, the HZO-based FeFETs with an HfO 2 seed layer have a larger remaining MW (0.66 V) than that (0.29 V) of the FeFETs without an HfO 2 seed layer after 1×10 4 program/erase cycle. This work represents a first attempt to realize the high performances of radiation-hard HfO 2 -based FeFETs.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
gds2021完成签到 ,获得积分10
刚刚
你好呀嘻嘻完成签到 ,获得积分10
刚刚
梅特卡夫完成签到,获得积分10
2秒前
熊雅完成签到,获得积分10
3秒前
5秒前
睡到自然醒完成签到 ,获得积分10
6秒前
cis2014完成签到,获得积分10
8秒前
独特的大有完成签到 ,获得积分10
8秒前
量子星尘发布了新的文献求助10
9秒前
11秒前
xingyi完成签到,获得积分10
13秒前
14秒前
舒心的秋荷完成签到 ,获得积分10
17秒前
zz123发布了新的文献求助10
18秒前
liaomr完成签到 ,获得积分10
18秒前
粗犷的灵松完成签到,获得积分10
19秒前
吃小孩的妖怪完成签到 ,获得积分10
19秒前
ncuwzq完成签到,获得积分10
21秒前
yshj完成签到 ,获得积分10
22秒前
24秒前
净禅完成签到 ,获得积分10
26秒前
28秒前
迷人的寒风完成签到,获得积分10
29秒前
29秒前
water应助科研通管家采纳,获得10
30秒前
Lucas应助HHHAN采纳,获得10
32秒前
无情修杰完成签到 ,获得积分10
33秒前
小柒完成签到 ,获得积分10
35秒前
聪慧芷巧发布了新的文献求助10
36秒前
37秒前
41秒前
蓝意完成签到,获得积分0
42秒前
xiaohongmao完成签到,获得积分10
47秒前
50秒前
qweerrtt完成签到,获得积分10
57秒前
57秒前
与共发布了新的文献求助10
58秒前
carly完成签到 ,获得积分10
59秒前
颢懿完成签到 ,获得积分10
1分钟前
量子星尘发布了新的文献求助10
1分钟前
高分求助中
【提示信息,请勿应助】关于scihub 10000
Les Mantodea de Guyane: Insecta, Polyneoptera [The Mantids of French Guiana] 3000
徐淮辽南地区新元古代叠层石及生物地层 3000
The Mother of All Tableaux: Order, Equivalence, and Geometry in the Large-scale Structure of Optimality Theory 3000
Handbook of Industrial Diamonds.Vol2 1100
Global Eyelash Assessment scale (GEA) 1000
Picture Books with Same-sex Parented Families: Unintentional Censorship 550
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 冶金 细胞生物学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 4038066
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 3575779
关于积分的说明 11373801
捐赠科研通 3305584
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1819239
邀请新用户注册赠送积分活动 892655
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 815022