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Formation mechanism of pinholes in electroplated Cu films and its mitigation

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作者

Chang-Chih Chen,Cheng-Hui Hsieh,Yu‐Wei Lee,Cheng‐Hsien Yang,Cheng–En Ho

出处

期刊：Thin Solid Films [Elsevier BV]
日期：2015-07-29 卷期号：596: 209-215 被引量：25

标识

DOI：10.1016/j.tsf.2015.07.063

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