High-Power VCSEL-Array with integrated Backside Optics

垂直腔面发射激光器 光学 集成光学 梁(结构) 自适应光学 功率(物理) 激光束 光电子学 物理 计算机科学 激光器 量子力学
作者
Stephan Gronenborn,Xi Gu,Markus Herper,Johanna Kolb,Stefan Wabra,Alexander Weigl,Roman Koerner,A. Pruijmboom
标识
DOI:10.1109/islc51662.2021.9615909
摘要

We present a 940nm-emitting VCSEL-array with integrated optics to tailor the beam to a square shaped top-hat far-field profile. The presented array is realized on a technology platform enabling a huge variety of integrated optics to allow flexible beam shaping without additional optics.

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