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Influence of the Annealing Temperature and Applied Electric Field on the Reliability of TiN/Hf0.5Zr0.5O2/TiN Capacitors

锡 电容器 退火（玻璃） 材料科学 电场 可靠性（半导体） 冶金 电气工程 工程物理 电压 热力学 工程类 物理 量子力学 功率（物理）
作者
Roman R. Khakimov,Anna G. Chernikova,Yu. Yu. Lebedinskii,Aleksandra A Koroleva,Andrey M. Markeev
出处
期刊：ACS applied electronic materials [American Chemical Society]
日期：2021-09-30 卷期号：3 (10): 4317-4327 被引量：9
标识
DOI：10.1021/acsaelm.1c00511
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