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Uncertainty evaluation of thickness and warp of a silicon wafer measured by a spectrally resolved interferometer

薄脆饼干涉测量光学材料科学硅光电子学物理

作者

Agustinus Praba Drijarkara,Tadesse Gergiso Gebrie,Jae Yong Lee,Chu-Shik Kang

出处

期刊：Measurement Science and Technology [IOP Publishing]
日期：2018-03-27 卷期号：29 (6): 064009-064009 被引量：3

标识

DOI：10.1088/1361-6501/aab9fb

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